UV紫外曝光系統
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UV紫外曝光系統

具有對準功能的UVK9紫外線曝光機(三維結構)

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帶有對準功能的高分辨率紫外線燈-UVK9
UVK9有一個完全自動的紫外線曝光室,具有高度準直的紫外線(準直度<2°)。使用UV LED等,無需加熱或冷卻時間,且LED燈的使用壽命超過10000小時。智能界面簡化了曝光過程,您只需要按照屏幕上的指示進行操作即可。UVK9具有5μm精度的對準功能和2μm的分辨率,與無塵室中的任何紫外線曝光系統相似,但仍是臺式設備,可以安裝在任何地方,尤其是在無塵室外部。

優勢
(1)高分辨率低至2μm
(2)高紫外線功率曝光
(3)完全可調的時間和功率
(4)易于使用
(5)5μm對準
(6)提供軟光刻工藝的全部知識

模具對準!
UVK9實際上類似于UVK3,但是其可在UV曝光之前在掩模和晶圓之間進行對齊。

的確,借助操縱桿,您將能夠以5μm的分辨率將掩模對準第一光刻膠層。對準操作很容易很容易在四個自由度上完成,所有移動都可以通過視頻輔助定位系統進行檢查。

憑借UVK9紫外曝光機,您可以在同一個模具上加工不同的厚度層,如生物領域,首先要有一個較小的通道(高度約5μm),較大的通道接近樣品的尺寸(高度約40μm)。

您也可以通過關閉通道并在某個精確位置打開流體連接來在光刻膠中創建硬質器件。

技術支持
我們為我們供應的所有設備提供高水平的技術支持,同時也為紫外曝光前后的相關微加工步驟提供支持。除了在整個過程中幫助您提供一部分支持外,我們還可以在所有加工過程中為您提供指導。

技術規格
(1)UVK9是緊湊的對準式UV曝光系統(475×475×478 mm)
(2)UV LED燈的波長為365nm,使用壽命長達10000個小時。
(3)像UVK3一樣,發散角確實小于2°,而且在4英寸晶圓的整個表面上的曝光均勻性都優于5%。
(4)UVK9可以在掩膜模式下進行真空接觸



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