微流控芯片加工工作站
當前位置:泰初科技(天津)有限公司 >> 產品中心 >> 微流控芯片加工工作站 >> 瀏覽產品
微流控芯片加工工作站

用于微流控軟光刻的干膜層壓工作站

GAMME-PRODUIT-BHL-1200x931.jpg


使用層壓工藝快速簡單的加工模具

我們提供適用于干膜光刻膠的層壓套裝。該層壓套裝提供了加工微流體模具所需要的一切組件。干膜層壓可以出色的控制微結構的高度,并且模具可以在不到一個小時的時間內加工完成,同時它也比基于樹脂基模具更清潔、更快和更便宜。

●  快速的加工協議(加工時間1小時以下)
●  精確控制微結構高度
●  比基于樹脂的光刻便宜
●  干凈整潔的工藝過程


優勢
●  芯片加工的高度可重復性過程
●  包括用于PDMS鍵合的全自動等離子體清洗機
●  快速加工過程并在24h內加工芯片
●  提供軟光刻工藝設備的全部技術支持


包含的組件
配套設備

(1)完整的空氣等離子體系統
(2)快速PDMS固化用的烤箱
(3)PDMS去泡器
(4)加工PDMS膜用的旋涂機
配件與化學品
包括所有化學品(PDMS、異丙醇、丙酮等)和所有實驗室配件(載玻片、培養皿、一次性杯子、攪拌棒、手術刀等),以便為您提供最完整的配件。


   
技術支持
標準支持包:
我們會為您提供所有儀器的售后服務,為您提供微細加工過程表格和教程,同時提供1年的電話支持,以回答您可能遇到的任何微細加工問題。

擴展支持包:除了標準的技術支持包,我們研發團隊還會在您的實驗中直接安裝您的設備,我們會根據您的需求在現場調整我們的所有微加工工藝,并培訓您的團隊,直到準備好加工所有微流控芯片為止。

技術規格參數
我們為您選擇并采用了最好的儀器,以使其與可靠的加工過程協同工作。您可以從下面看到設備的簡短說明。


軋機


GAMME-PRODUIT-BHL-1200x931.jpg


軋機設備具有6個卷輥和4個加熱部件。運動速度和加熱溫度可根據應用進行調整,并可用于高達3mm的厚度。這些卷輥可以前后移動,并且易于清潔。

適用于軟光刻應用的設備

較寬的運動速度和溫度范圍提供了與不同種類的干膜光致抗蝕劑一起使用的可能性,甚至可以通過層壓在預先設計的層上來構筑3D結構。軋機小巧易用,非常適合安裝在任何地方,尤其是在潔凈室之外。

主要優勢:
●  易于使用
●  可與任何干膜光刻膠一起使用
●  較寬的速度(高達1.3m/min)和溫度范圍(高達140℃)
●  數字面板可全面控制參數
●  容易清洗

UV燈系統

UV-LAMP-BLACK-photolithography-Programmable-UV-lamp.png


獨特的UV LED曝光和遮罩系統(可選),具有365 nm或者385 nm波長的可用光源。這是一種非常緊湊的臺式系統,能夠對直徑最大為4英寸的晶圓表面積進行曝光。該自動UV曝光系統與硬(物理)或軟(接近)掩膜觸點兼容,并具有可變的掩膜到基板距離的控制功能。

適用于軟光刻應用的設備

該UV曝光系統具有2μm的分辨率,特別適合軟光刻應用。閃光曝光可以減少光刻膠的內部機械應力。其體積小巧,可將其安裝在所需的任何位置,尤其是在潔凈室之外。

主要優勢:
●  晶圓表面上方的完美單色曝光(帶寬低于10 nm)
●  冷紫外線
●  光線發散角<2°
●  強大的功率密度
●  LED使用壽命長:超過1萬小時,相當于8-10年的使用時間
●  用戶友好的觸摸屏界面,可進行曝光周期編程
●  無需預熱時間
●  直觀的UV光源強度控制
●  自動化晶圓加載和卸載系統
●  可與玻璃和塑料光罩一起使用
●  在4英寸晶圓上具有很高的紫外線均勻度
●  集成紫外線儀表

可編程熱板
 hotplates-microfluidic-chip-soft-lithography-300x274.png


確保準確、均勻且穩定的溫度設定點。該數字式熱板設備可設置溫度斜坡以進行加熱和冷卻。通過可編程控件使您的生活更加輕松,這些控件可以實現光刻過程的自動化。

適用于軟光刻應用的設備

可編程熱板的頂板和很大的加熱表面積使它具有足夠寬的區域,溫度均勻,可以在4英寸的晶片上有效地烘烤SU-8光刻膠。溫度斜坡使得能夠減小光致抗蝕劑層內部的機械應力。可編程工具可進行長時間的光刻膠烘烤,而無需停留在設備的面前。

主要優勢:
●  加熱和冷卻的溫度斜坡曲線
●  4英寸晶圓的高溫均勻性
●  微處理器顯示屏保持溫度恒定
●  最小溫度超調
●  自動計時器
●  光滑的鋁板,易于清潔光刻膠


更多信息

自動匹配您實驗室現有設備的報價!
由于每個實驗室都是不同的,因此,每個研究都是獨特的,所以我們會根據實際需求盡可能地調整報價。我們與您一起討論什么是效率最高的設備,從而增加或刪除設備、配件、化學品等等。

請您隨時聯系我們并對您的實驗設備進行評估且給出項目建議。

可選項
我們已經創建了基本報價,其中包含完整工具集所需要的一切,但是可以對其進行一些選擇或修改以更好地滿足您的需求。請查看我們的產品概述,以了解有關產品選項的更多信息。
    
除此之外,我們在這里收集了一些更適合您的SU-8模具工作站的可選設備。

空氣壓縮機

Compresseur-datasheet-200x200.png


配備高達8 bar的空氣壓縮機,可替換實驗室內的任何氣體管線。

顯影振動機

Vibramax2-200x200.jpg

要對厚的光刻膠層進行輕松的顯影,可以使用該顯影工具,它將在您整個顯影期間為您帶來最佳抖動。


相關:
上一篇:微流控芯片PDMS替換材料Flexdym芯片加工工作站
下一篇:微流控PDMS膜加工套裝
Copyright©2017 泰初科技(天津)有限公司(Techu Scientific (Tianjin) Co., Ltd.) ICP主體備案號:津ICP備18001023號
久久亚洲精品