UV紫外曝光系統
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UV紫外曝光系統

多波長光源UVW25紫外曝光機


 


簡易的紫外線腔室柜
該紫外線腔室工具集中于一點:光致抗蝕層的UV曝光。這是一個使用UV LED工作的便攜簡易設備,可確保較長的使用壽命及完美的中心曝光波長,且無需加熱或冷卻時間。您可以對設備的曝光功率和曝光時間這兩個主要參數進行調節,以有效地加工微流體模具。

●  可編程的功率和曝光時間
●  簡易的遮罩位置
●  快速且易于使用
●  不需要潔凈室

優勢
●  <15°的準直良好的光線
●  可編程的照明功率和曝光時間
●  可切換的UV LED光源(365nm,385nm,395nm,405nm)
●  提供軟光刻工藝的技術文檔和知識

價格低廉的簡易曝光設備
使用UVW25曝光機,操作簡單且高效。主要目標是使您的光刻膠暴露在所選的紫外光線下。

技術支持
我們對提供的所有設備均提供高水平的支持,同時也為曝光前后的相關微加工步驟提供支持。我們不僅可以幫助您完成加工流程的一部分,同時還可以在整個流程中為您提供指導。

技術規格
●  集成紫外線燈的UVW25曝光機,提供365nm、385nm、395nm或405nm四種不同的波長選擇,以適應各種光刻膠。
●  UVW25曝光機具有90%以上的曝光均勻性和15°以下的準直角
●  標稱曝光功率為250mW/cm2,但可以在20%至100%之間進行調節
●  托盤尺寸為300×300mm,因此可用于曝光最大6英寸的基材。
●  托盤可以通過5個不同的位置移開或移近紫外燈(它將定義典型的功率和暴露在表面上的區域),該位置有5個不同的位置:距離UV LED燈的發射窗口5/10/15/20/或25cm。
●  UVW25的正面有一個安全窗口,可以在曝光期間無風險地看到曝光過程。


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