UV紫外曝光系統
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UV紫外曝光系統

高分辨率UVK3紫外曝光機

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UVK3有一個完全自動的紫外線曝光室,可產生角度小于2°的高度準直的紫外線。使用UV LED,無需加熱或冷卻時間,并且LED燈的使用壽命超過10000小時。智能化的操作界面簡化了紫外曝光的操作過程,您只需要按照屏幕上的指示進行操作即可。UVK3紫外曝光機的分辨率為2μm,可滿足95%的微流體應用。

優勢
(1)高分辨率低至2μm
(2)高紫外線功率曝光
(3)完全可調的時間和功率
(4)易于使用
(5)提供軟光刻工藝的全部知識

技術支持
我們為我們供應的所有設備提供高水平的技術支持,同時也為紫外曝光前后的相關微加工步驟提供支持。除了在整個過程中幫助您提供一部分支持外,我們還可以在所有加工過程中為您提供指導。

技術規格
(1)UVK3通常適用于4英寸晶圓,但可用于較小的基板。
(2)可以使用塑料面罩粘貼在純硼硅玻璃上
(3)UVK3可與5英寸玻璃面罩配合使用,但如果需要,可添加4英寸適配器。
(4)UVK3可以以連續或脈沖的模式工作
(5)標稱功率約為50mW/cm2,可根據用途在0%到100%之間進行調整。
(6)設備內部安裝有一個紫外線計,可以隨時控制紫外燈的功率。


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