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一站式微流控PDMS芯片加工設備

---提供加工SU-8模具和PDMS芯片的全部產品---


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現在任何實驗室在不要超凈室的情況下都可以加工SU-8模具和PDMS芯片
●    節省時間:我們提供并安裝您實驗室中的所有設備
●    易于使用:通過我們的P&P儀器和培訓,一周后您就可以在您的實驗室內加工PDMS芯片
●    節省空間:相當于3平方米的傳統潔凈室
●    高分辨率:達到與無塵超凈室內的相同分辨率

一站式軟光刻設備包包括實驗室內加工模具和復制PDMS芯片所需要的一切。該包包括所有設備和支持自主加工微流控芯片。

一站式軟光刻設備包是一個交鑰匙工程,不需要購買任何附加設備。基本上只需要一個化學通風廚和一個小工作空間。我們根據您的需求來一起調整設備包的組成。

特點&優勢
●    達到與無塵室中相同的圖案分辨率
●    獲得許多后續PDMS模具的強光阻圖案
●    穩定可靠的流程可輕松實現重復性
●    即使沒有微加工的初步知識,也可以加工您的模具。
●    獲得最好的設備以便確保您的設備有較長的使用壽命
●    高度可重復的芯片加工工藝
●    快速加工工藝并在24小時內生產您的芯片
●    充分利用我們在軟光刻工藝方面的知識

包括
儀器:
●    完整的空氣等離子系統
●    用于快速PDMS固化的烤箱
●    用于PDMS脫氣的干燥器
●    可編程旋涂機
●    紫外燈——LED曝光
●    可編程熱板
●    。。。

附件:


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包括所有實驗配件(硅片、鑷子、載玻片、培養皿、一次性杯子、攪拌棒、解剖刀等)。我們為您提供所有產品的參考信息和供應商信息以填充您的庫存。

化學試劑:


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包括所有化學品(SU8、粘附促進劑、SU8顯影劑、異丙醇、丙酮等)。我們為您提供所有產品的參考信息和供應商信息以填充您的庫存。


如下是對PDMS芯片加工設備的簡要介紹
等離子清洗器

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第一個專為PDMS鍵合設計的等離子清洗器,這種自動化等離子可以輕松加工您的PDMS微流體器件。由于其采用真空反饋回路,所以,該等離子清洗器可自動調節腔室內的真空而無需手動調節。


主要優勢
便于PDMS鍵合的自動壓力調節
用于隨時間重現過程的低壓漂移量表
安全的真空泵以避免污染等離子室
三種射頻功率可用
數字真空計
與3-6英寸晶圓兼容的精細真空調節

烘箱

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傳統干燥箱,前面板帶有雙金屬流體膨脹探頭熱調節器。這款4英寸晶圓的烘箱可讓您高效的鍵合PDMS芯片。事實上,它的大小適用于培養皿的尺寸,一次可加熱兩個模具。其最小的占地面積可實現快速預熱和較小的電耗。這是一個真正可以移動的設備,可以隨處安裝。


主要優勢
使用方便
鋁制內腔可以更好的散熱
用于排氣的進入腔室內的可調流量的空氣
適用于15毫米培養皿的占用空間
兩個內部的架子
加熱時發出輕微警告
從1 min到120 min的計時器

旋涂機

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這款旋涂機結構緊湊且具有先進的功能,適用于直徑最大到150 mm的晶圓和127 mm × 127 mm的基材。該旋涂機可對可控且重復性的PDMS層進行精細的調節。其緊湊的尺寸可使該設備實現真正的移動。此外,蓋子上的孔允許進行動態PDMS涂層。

主要優勢:
專為易用性而設計
從操作面板或PC上進行簡單的編程
能夠以多種加速度和速度來設置復雜的序列
易于清潔
延長使用壽命的非堵塞系統
低振動
可到12000 rpm的速度
提供晶圓定心工具

紫外燈

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這種紫外燈是一個非常緊湊的臺式系統,能夠曝光直徑達4英寸晶圓的表面區域。這種自動紫外線系統兼容硬(物理)或軟(接近)掩膜接觸,并且具有可變掩膜到基底距離控制功能。

在2μm分辨率下,該儀器特別適用于軟光刻的應用。閃光曝光能夠減少光致抗蝕劑的內部機械應力。其小尺寸可以安裝在任何你想要的地方,尤其是在潔凈室外。

主要優勢:
在整個晶圓表面區域(帶寬低于10nm)進行完美的單色曝光
冷紫外曝光
光的發散角小于2°
強大的功率密度
長壽命LED:超過10,000小時,相當于8-10年的使用壽命
LED的快速打開/關閉開關按鈕允許對光刻膠進行閃光操作
用于曝光循環編程操作的用戶友好的觸摸屏界面
不需要預熱時間
紫外光源強度的直觀控制
自動化的晶圓裝載和卸載系統
可使用玻璃和塑料光罩
定向紫外光束
UV功率的時間沒有變化
4英寸晶圓上的高度UV均勻性
集成的UV測量儀

熱板

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確保準確、均勻和穩定的溫度設定點。該數字熱板設備可以設置加熱和冷卻的溫度斜坡。通過其可編程控制(可使您的光刻過程自動化)可讓您的生活更輕松。

其鋁制頂板及其大面積的加熱表面能夠在溫度均勻的足夠寬的區域內有效地烘烤4英寸晶圓上的SU-8光刻膠。溫度斜坡能夠減小光刻膠層內的機械應力。

主要優勢
用于加熱和冷卻的溫度斜坡
4英寸晶圓上的高溫均勻性
沒有隨時間的溫度傳感器漂移
微處理器顯示保持一致的濕度
最小的溫度過沖
自動計時器
易于光刻膠清潔的平滑鋁板
直接從PC上控制時間計數、溫度和設定點。

輔助設備


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      空氣壓縮機                         顯影儀                          超聲浴清洗器                       真空泵


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如何從SU-8模具中加工PDMS芯片?請點擊 這里


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微流控實驗系統的通用配置方案,請點擊 這里


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