微流控芯片加工工作站
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微流控芯片加工工作站

一站式微流控SU8模具加工工作站

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沒有無塵室,您依然可以加工自己的SU-8模具
我們的SU-8光刻臺式工作站包括您在實驗室加工微流體模具所需要的一切組件,即使沒有超凈間,憑借該SU-8模具工作站,您也可以加工出來具有與超凈間相同的分辨率的模具。SU-8模具工作站可以縮短芯片加工的總時間,快速實驗您自己的微流體實驗研究。

一站式SU-8模具加工站
我們的SU-8模具加工站是一個交鑰匙的產品,無需購買任何其他設備。基本上,僅需要一個化學通風廚和少量的工作空間。我們也會根據您實驗室內現有的設備來調整報價。

優勢&特點
(1)達到與超凈室相同的圖案分辨率
(2)獲得強大的光刻膠圖案,可用于眾多未來的PDMS模塑。
(3)使用健壯的工藝流程,輕松實現可重復性
(4)即使沒有微加工的初步知識,您也可以熟練的加工模具
(5)獲得最好的模具加工設備,以確保您的設備具有較長的使用壽命

包含的組件
配套設備

(1)數字電熱板
(2)UV燈系統
(3)可編程旋涂機
配件與化學品
包括所有化學藥品(SU-8,SU-8顯影液、Omnicoat、異丙醇、丙酮等)和所有實驗室配件(微量移液槍、計時器、玻璃器皿、封口膜、鑷子、金剛石刮板、硅片、玻璃載玻片、一次性杯子、攪拌棒、手術刀等),以便為您提供最完整的套件。



技術支持
標準技術支持包:我們會為您提供所有儀器的售后服務,為您提供微細加工過程表格和教程,同時提供1年的電話支持,以回答您可能遇到的任何微細加工問題。

擴展支持包:除了標準的技術支持包,我們研發團隊還會在您的實驗中直接安裝您的設備,我們會根據您的需求在現場調整我們的所有微加工工藝,并培訓您的團隊,直到準備好加工所有微流控芯片為止。

技術規格參數
我們為您選擇并采用了最好的儀器,以使其與可靠的加工過程協同工作。您可以從下面看到設備的簡短說明。

旋涂機


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該旋涂機結構緊湊,并且具有高級功能。它適用于直徑ø150 mm的晶圓和5” × 5”(127 mm × 127 mm)的基板。此旋涂機經過微調,可加工可控和可重復的SU-8光致抗蝕劑層。

適用于軟光刻應用的設備

其緊湊的尺寸和附加的小面板控制使該設備實現真正的移動。該旋涂機已廣泛應用于SU-8光刻膠涂層。蓋子上的孔可以進行動態SU-8涂覆。通過藍牙輕松連接到您的PC,您可以保存并命名您的實驗配方。

主要優勢
(1)專為易用性設計
(2)易于通過操作面板或PC進行編程
(3)能夠設置多種加速度和速度的復雜序列
(4)無堵塞,延長使用壽命
(5)低振動
(6)轉速高達12000 rpm
(7)提供晶圓對中工具

UV燈系統


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獨特的UV LED曝光和遮罩系統(可選),具有365 nm或者385 nm波長的可用光源。這是一種非常緊湊的臺式系統,能夠對直徑最大為4英寸的晶圓表面積進行曝光。該自動UV曝光系統與硬(物理)或軟(接近)掩膜觸點兼容,并具有可變的掩膜到基板距離的控制功能。

適用于軟光刻應用的設備

該UV曝光系統具有2μm的分辨率,特別適合軟光刻應用。閃光曝光可以減少光刻膠的內部機械應力。其體積小巧,可將其安裝在所需的任何位置,尤其是在潔凈室之外。

主要優勢:
(1)晶圓表面上方的完美單色曝光(帶寬低于10 nm)
(2)冷紫外線
(3)光線發散角<2°
(4)強大的功率密度
(5)LED使用壽命長:超過1萬小時,相當于8-10年的使用時間
(6)用戶友好的觸摸屏界面,可進行曝光周期編程
(7)無需預熱時間
(8)直觀的UV光源強度控制
(9)自動化晶圓加載和卸載系統
(10)可與玻璃和塑料光罩一起使用
(11)在4英寸晶圓上具有很高的紫外線均勻度
(12)集成紫外線儀表

可編程熱板

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確保準確、均勻且穩定的溫度設定點。該數字式熱板設備可設置溫度斜坡以進行加熱和冷卻。通過可編程控件使您的生活更加輕松,這些控件可以實現光刻過程的自動化。

適用于軟光刻應用的設備

可編程熱板的頂板和很大的加熱表面積使它具有足夠寬的區域,溫度均勻,可以在4英寸的晶片上有效地烘烤SU-8光刻膠。溫度斜坡使得能夠減小光致抗蝕劑層內部的機械應力。可編程工具可進行長時間的光刻膠烘烤,而無需停留在設備的面前。

主要優勢:
(1)加熱和冷卻的溫度斜坡曲線
(2)4英寸晶圓的高溫均勻性
(3)微處理器顯示屏保持溫度恒定
(4)最小溫度超調
(5)自動計時器
(6)光滑的鋁板,易于清潔光刻膠
    
更多信息
自動匹配您實驗室現有設備的報價!

由于每個實驗室都是不同的,因此,每個研究都是獨特的,所以我們會根據實際需求盡可能地調整報價。我們與您一起討論什么是效率最高的設備,從而增加或刪除設備、配件、化學品等等。

請您隨時聯系我們并對您的實驗設備進行評估且給出項目建議。

可選項
我們已經創建了基本報價,其中包含完整工具集所需要的一切,但是可以對其進行一些選擇或修改以更好地滿足您的需求。請查看我們的產品概述,以了解有關產品選項的更多信息。
    
除此之外,我們在這里收集了一些更適合您的SU-8模具工作站的可選設備。

空氣壓縮機

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配備高達8 bar的空氣壓縮機,可替換實驗室內的任何氣體管線。

真空泵

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小型真空泵可替換實驗室內的任何真空管線,以便進行除氣,并牢固地保持旋涂機上的所有基材。

顯影振動機

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要對厚的光刻膠層進行輕松的顯影,可以使用該顯影工具,它將在您整個顯影期間為您帶來最佳抖動。

光學輪廓儀

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如果要檢查模具的厚度,我們可以為您提供此光學輪廓儀。該光學輪廓儀易于使用,體積小巧,適合您的實驗室工作臺,是市場上性價比最好的一款輪廓儀


微流控芯片PDMS實驗室加工空間和一覽


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相關應用

如何從SU-8模具中加工PDMS芯片?請點擊 這里


PDMS微流控芯片的制作流程及其應用,請點擊 這里


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